Потехин Максим Сергеевич (RU)
Изобретатель Потехин Максим Сергеевич (RU) является автором следующих патентов:
![Способ электронной литографии Способ электронной литографии](https://img.patentdb.ru/i/200x200/eed4b64e574ec79be4dd1edd31883a61.jpg)
Способ электронной литографии
Способ электронной литографии относится к способам нанесения рисунков в технологии изготовления полупроводниковых устройств. Способ реализуется путем переноса изображения с катода-маски электронами вторичной электронной эмиссии на резист, подложка которого соединена с анодом. Особенностью является то, что технологическую камеру заполняют рабочим газом, в прикатодной области создают тлеющий разряд...
2462784