Вологина Валентина Николаевна (RU)

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам давления с тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системой (НиМЭМС), предназначенным для использования при воздействии нестационарных температур и повышенных виброускорений. Технический результат: уменьшение погрешности измерения. Сущность: датчик содержит корпус (1), установленную в нем НиМЭМС, состоящую из мембраны (...

Изобретение относится к измерительной технике. Сущность: датчик давления содержит корпус, мембрану (1) радиуса r1, выполненную с жестким центром (2) радиуса r2 и утолщенным периферийным основанием (3). На мембране сформированы тензорезисторы (R1-R8), выполненные в виде соединенных низкоомными перемычками в окружном и радиальном направлении идентичных резистивных тензоэлементов. Тензорезисторы (R1...

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам, предназначенным для использования в различных областях науки и техники, связанных с измерением давления в условиях воздействия нестационарных температур и повышенных виброускорений. При изготовлении тонкопленочного датчика давления формирование тензоэлементов проводят с использованием шаблона тензочувствительного слоя, имеюще...

Изобретение может быть использовано для измерения малых давлений с повышенной чувствительностью и точностью. Тензорезисторный преобразователь силы содержит упругий элемент, выполненный за одно целое с опорном кольцом. Упругий элемент выполнен с четырьмя сквозными отверстиями с поперечными прорезями в боковой грани. На плоской поверхности упругого элемента над сквозными отверстиями размещены тенз...