Нагоев Теморлан Хусейнович

 Изобретение относится к вакуумному нанесению слоев и может быть использовано для термического нанесения полимерных пленок из газовой фазы. Устройство для нанесения полимерных пленок содержит размещенные в вакуумной камере подложку и испаритель, снабженный нагревателем, и состоящий из двух камер, расположенных коаксиально и соосно испарителю, в одну из камер загружается испаряемое вещество...