Одиноков В.В.

  Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано для создания изделий электронной техники, радиотехники, оптики и др. С целью увеличения коэффициента полезного использования распыленного материала в устройстве, содержащем магнетронную систему, состоящую из кода с мишенью и полюсных наконечников и анода, а также подложкодержатель, оси симметрии подложкодержат...

 Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано в технологических вакуумных установках для создания изделий электронной техники, радиотехники, оптики и др. Сущность: устройство для магнетронного распыления материалов в вакууме содержит подложкодержатель с приводом для его вращения, анод, магнетронную систему с двумя катодами и расположенными под углом к оси...

 Использование: для поддержания в заданных пределах давления или других параметров, которые могут характеризоваться соответствующей величины перемещением чувствительного элемента. Сущность изобретения: устройство содержит чувствительный элемент 1-3, два нормируемых формирователя 4, 5, два элемента НЕ 9, 11, элемент ИЛИ 6, три ключа 10, 12, 7 и исполнительный блок 8. Устройство сигнализируе...