Тумаков А.В.

 Использование: для безопасной перевозки, хранения и обслуживания экологически - и взрывоопасных грузов, преимущественно крупногабаритных, особенно при обслуживании грузов в регионах с повышенной социальной напряженностью и диверсионной опасностью, а также в условиях возникновения аварийных ситуаций, при которых контейнеры с взрывоопасным грузом могут быть охвачены пламенем пожара транспор...

  Использование: в микроэлектронике, в частности в устройствах для плазмохимической обработки (травления) обратной стороны полупроводниковой пластины с одновременной защитой лицевой. Сущность изобретения: в устройстве для травления предусмотрена система возбуждения газового разряда, которая выполнена в виде параллельных электродов с выступающей центральной частью, диаметр которой соответст...