Кучанов Сергей Николаевич

  Изобретение относится к устройствам для обработки изделий тлеющим разрядом при нанесении вакуумных покрытий. Устройство содержит токоподвод с составным катодом (К), содержащем как минимум две замкнутые пластины (П) с параллельными образующими. Одна из П выполнена сплошной , а остальные - с отверстиями (О) по всей поверхности. Расстояние (Р) между П выбирается равным не менее удво...

 Сущность: способ включает бомбардировку подложки ионами газового разряда с одновременным напылением покрытия путем осаждения металла, испаренного в рабочей камере вакуумным методом. Бомбардировка подложки положительными ионами газового разряда чередуется с процессом облучения ультрафиолетовым излучением и потоком электронов. Способ обеспечивает увеличение адгезионной прочности контакта ме...