Кутьина Н.В.

 Использование: электронная техника, формирование топологического рисунка чувствительных слоев газовых датчиков. Сущность изобретения: в способе формирования топологического рисунка пленки диоксида олова плазмохимическое травление пленки диоксида олова через фоторезистивную маску производят в смеси, содержащей водород или водородсодержащий газ 90 - 92 об.% и четыреххлористый углерод 10 - 8...