Овечкин А.А.

  л Р,л р Комитет ио делам изобретений и открытий ири Сонете Министров С -Р Гр. 2 2 :p актср 5I. з. ьга111ьин Гор, Алатырь типография ЪЪ ? Лин1тстсрств11 культуры 1увашскс11 АСС!=, ю 1. 1 РОРа!11Ц11ь1111С-11ЗДаi 1.. :1ЬО1ili!1 ОТДО i. (!. j и. л. ;па 1 = 07О. l!opi1, ii i1е- ЯД ll- ОДД г. ЦО1(а 25 1;Оп.   

 Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в технологии производства полупроводниковых приборов и ИС. Сущность изобретения: устройство содержит реакционный блок, включающий кварцевый реактор с излучателем, корпус с подложкодержателем, перегрузочную камеру, включающую механизм перегрузки и шлюзовую камеру с уплотняющей крышкой, герметичный кожух, охлаждаемый экран,...

 Использование: для термического отжига пластин в различных газовых средах, осаждение диэлектрических слоев и эпитаксиальных слоев кремния в технологии производства полупроводников и микроэлектронике. Сущность изобретения: устройство содержит кварцевый реактор с внешним излучателем и подложкодержателем в виде вертикально установленной воронки с гнездом на верхнем торце для размещения пласт...