Чепуренко О.Ф.

 Использование: в измерительной технике при разработке микроэлектронных датчиков состава газа. Сущность изобретения: датчик содержит кремневую подложку с выполненной на ней мембраной из диоксида кремния, на которой последовательно сформированы резистивный нагреватель, слой изолирующего диэлектрика и пленка чувствительного материала. Мембрана выполнена круглой. Резистивный нагреватель выпол...