Папаев В.А.

 Использование: изобретение относится к электронной технике и предназначено для исследования физических свойств поверхностей твердых тел. Цель изобретения - повышение точности измерений и частоты сканирования. Сущность изобретения: туннельный микроскоп содержит корпус, объектодержатель, узел сканирования, включающий пьезоэлемент с иглой, и механизм перемещения объектодержателя. Узел сканир...