Стрельцов В.С.

 Использование: в микроэлектронике. Сущность изобретения: способ формирования разводки на поверхности полупроводниковой пластины с островками диэлектрика включает напыление вспомогательных слоев металла, создание фоторезистивной маски с рисунком разводки, формирование электрического контакта к пластине, осаждение из электролита золота, удаление фоторезиста, стравливание вспомогательных сло...