Кириллин А.В.

  Изобретение относится к технологии тонких пленок конкретно к получению пленок нитрида алюминия толщиной до 10000 Д. Целью изобретения является упрощение способа и повышение производительнопи при сохранении сплошности пленки. Способ осущеавляют следующим образом: диэлектрическую подложку с тонким слоем алюминия помещают в рабочую камеру заполняемую азотом высокой чистсты до давлен...

  Изобретение относится к технологии получения пленок нитрида алюминия основанной на методе вакуумного реактивного испарения порошка или керамики нитрида алюминия Целью изобретения является улучшение технологичности способа путем уменьшения температуры образования пленки нитрида алюминия при сохранении ее сплошности. Способ осуществляют следующим образом. В герметичную камеру поМещ...

 Изобретение относится к получению различных соединений на твердой поверхности. Сущность изобретения: поверхность твердого тела, размещенного в герметичном вакуумированном объеме, заполненном газовой фазой участвующих в реакции компонентов, облучают потоком фотонов с частотой, соответствующей спектральной линии по крайней мере одного из компонентов. При этом энергия фотонов должна быть не...

 Использование: для производства порошковых материалов. Сущность изобретения: создают пересыщенный пар вещества, порошок которого хотят получить, или его смесь с нейтральным газом в предварительно вакуумированной камере, облучают пар или смесь его с нейтральным газом электромагнитным излучением от внешнего источника, сохраняя неизменными термодинамические характеристики пара или смеси, зат...