Гришаев А.А.

 Изобретение предназначено для прецизионных измерений температуры. Полупроводниковый терморезистор выполнен в виде монокристалического кремниевого резистора с контактами к нему. В в плане резистор имеет форму меандра. Он размещен в канавке, сформированной в подложке из высокоомного поликремния, и изолирован от нее слоем окисла кремния. Для снижения инерционности под всей площадью резистора...