Генцелев А.Н.

 Изобретение относится к изготовлению из полимерных пленок микропористых мембран с калиброванными размерами пор, которые могут использоваться в электронной промышленности для очистки жидкостей и газов, в пищевой промышленности для очистки и стабилизации соков, пива, вина, выделения белка при сыроварении и т. д. в коммунальном хозяйстве для очистки воды, в медико-биологических исследованиях...

 Изобретение относится к производству интегральных микросхем и полупроводниковых приборов, а именно к технологии ренгенолитографии, может быть использовано в установках для совмещения рисунка на маске с рисунком на подложке и экспонирования. Цель изобретения - повышение точности совмещения рисунков топологических слоев на подложке за счет снижения разброса величины рабочего микрозазора, вы...