Ольский Ю.Я.

 Изобретение относится к устройствам для осаждения из газовой фазы слоев композиционных материалов и может быть использовано для получения слоев и изделий из карбида кремния, характеризующихся теоретической плотностью, стехиометрическим составом, а также высокой производительностью и выходом годного. Устройство для осаждения слоев карбида кремния из газовой фазы содержит водоохлаждаемый ве...