Ложкин А.Ю.

 Сущность изобретения: способ изготовления микропористых мембран включает облучение полимерной пленки потоками высокоэнергетических частиц, например квантов излучения, электронов или ионов, и последующее травление. Перед обучением пленку нагревают до температуры, находящейся в диапазоне между температурой стеклования и температурой текучести, деформируют и охлаждают до температуры, меньше...

 Способ изготовления микропористых мембран включает в себя локальное облучение пленок или пластин потоками высокоэнергетических частиц и последующее их травление. Перед облучением пленку или пластину обрабатывают вызывающим ее набухание химическим реагентом и наносят слой эластичного резиста. После облучения пленку или пластину подвергают усадке. Обработку травителем ведут в две ступени, н...

 Способ изготовления фильтровальных мембран включает облучение набухшей под воздействием химического реагента пленки потоком высокоэнергетических частиц, ее последующую обработку травителем и усадку. Преимущественно усадку пленки осуществляют после травления путем выпаривания химического реагента. 3 з.п. ф-лы, 1 ил. Изобретение относится к области физико-химической очистки веществ, а более...

 Изобретение относится к технологии микроэлектронных устройств. Сущность изобретения: полимерную резистивную пленку локально облучают потоками излучения или частиц с последующим травлением. Пленку в процессе ее изготовления нагревают до температуры, находящейся в области высокоэластической деформации полимера между температурой стеклования и температурой текучести, и растягивают. Растянуту...