Сенюта Т.Б.

  Изобретение относится к аналитической химии, в частности, к аналитической реакционной газовой хроматографии и может использоваться в анализе смесей, содержащих муравьиную кислоту. Целью изобретения является повышение селективности способа, его упрощение и сокращение времени анализа. Определение проводят, пропуская анализируемую смесь в потоке газа носителя через слой катализатора, предст...

 Использование: в микроэлектронике. Сущность изобретения: осаждение из газовой смеси инициируется однократным разрядом в течение 0,001 - 0,01 с, а газовая смесь содержит 0,006 - 0,048 об.% соединения типа SiMn Cl4-n, водород и кислород при их соотношении 1 - 4 : 4. 1 з. п.ф-лы, 1 ил, 2 табл. Изобретение относится к химическому нанесению покрытий осаждением паров из металлоорганических соед...