Семенов Александр Иванович[UA]
Изобретатель Семенов Александр Иванович[UA] является автором следующих патентов:
Способ получения синтетических кварцевых изделий
Использование: в полупроводниковой промышленности. Сущность изобретения: способ включает напыление диоксида кремния, полученного в производстве разложения летучего соединения кремния в потоке кислородно-водородной плазмы на жаростойкий формообразователь с последующим остекловыванием напыленной заготовки в вакууме. Напыление заготовок кварцевых изделий (тиглей) производят на формообразоват...
2061111