Угаров М.В.

 Использование: в газовых датчиках при детектировании и определении концентрации компонентов газовой смеси. Сущность изобретения: чувствительный элемент газового датчика содержит основание с нанесенным на него полимерным покрытием, адсорбирующим газ. В качестве основания использован кремниевый микрорезонатор. Изобретение относится к датчикам, предназначенным для детектирования и определени...