Галабурда Петр Николаевич[BY]

 Изобретение касается производства микроэлектронных приборов и может быть использовано для определения положения кристалла относительно присоски. Устройство повышает достоверность определения положения кристалла при наличии на линиях раздела посторонних объектов. Данное устройство позволяет повысить процент выхода годных приборов, увеличить производительность оборудования при производстве...