Панасенко Петр Васильевич

 Использование: в полупроводниковой технике для изготовления мощных транзисторов Шоттки с электрохимически наращиваемым затвором. Сущность изобретения: барьерный и разделительный слои затвора наносят термическим напылением. Электрохимическим осаждением золота наращивают затвор. По маске осажденного золота удаляют напыленные слои металлов. Толщины напыленных слоев выбирают в следующих интер...