Каллистов А.А.

 Сущность: к аноду, катоду и поджигающим электродам подводят напряжение и поддерживают в рабочей камере пониженное давление газов или их смесей. На поверхности катода образуют равномерный слой окислов материала катода, обеспечивают равенство импедансов каждой точки рабочей поверхности анода, а плазмообразующее вещество удаляют из разрядного промежутка регулируемым потоком. 2 с. и 1 з. п. ф...