Батраков Г.И.

 Использование: при элементном анализе несквозных отверстий и канавок, высота которых значительно превышает линейные размеры их дна. Сущность изобретения: участок дна облучают электронным зондом со скомпенсированным дрейфом. Компенсацию проводят генерированным электрическим полем. Регистрируют вторичные электроны, не отраженные от стенок углубления, анализатором типа цилиндрическое зеркало...