Тюков В.В.

  Использование: в неразрушающих методах контроля с использованием ионизирующего излучения. Сущность изобретения: после предварительного облучения поверхности пучком ионизирующего излучения измеряют энергетическое распределение электронов, эмиттируемых поверхностью в интервале температур 130-150°С с поверхности контролируемых образцов, и по значению средней кинетической энергии судят о луч...

  Использование: технология изготовления и контроль качества изделий акустоэлектроники на поверхностных акустических волнах. Сущность изобретения: контроль осуществляктся путем измерения тока фотостимулированной экзоэлектронной эмиссии при сканировании УФ-зондом локального участка поверхности между излучающим и приемным встречно-штыревыми преобразователями. Положительный эффект: возможност...

 Использование: исследование электрофизических свойств поверхности эмиссионными методами, контроль качества элементов интегральной оптики и микроэлектроники. Сущность изобретения: в способе контроля параметров оптического волноводного слоя возбуждают в нем волноводные моды путем освещения слоя пучком когерентного излучения с энергией квантов ниже порога стационарного фотоэффекта. Контроль...