Амелин А.Н.

 Использование: изобретение относится к оптическому приборостроению, лазерной технике, электронной и стекольной промышленности. Сущность изобретения: для получения покрытий на крупноразмерных подложках в известном способе, включающем очистку подложки ионами инертного газа и нанесение покрытия при одновременной бомбардировке подложки пучком ионов, пучок ионов получают в ускорителе с замкнут...