Абсалямов С.К.

 Изобретение относится к области создания новых плазменных технологий нанесения тонкопленочных покрытий из различных материалов. Авторами разработан способ нанесения таких покрытий при помощи магнетрона новой конструктивной схемы при использовании ускорителя с замкнутым дрейфом электронов для очистки поверхности и так называемой ионной поддержки при нанесении покрытий. Этим способом получе...