Афанасьев Сергей Анатольевич[BY]

 Использование: в области микроэлектроники и позволяет увеличить производительность процесса и повысить качество получаемых мишеней и осаждаемых пленок. Сущность изобретения заключается в том, что в качестве по крайней мере одного из ингредиентов выбирают фторид элемента, входящего в состав ВТСП-пленок, и производят импульсное прессование мишеней взрывом в интервале скоростей детонации (2-...