Климачев И.И.

 Сущность изобретения: тонкопленочный медный терморезистор с защитным слоем из тугоплавкого металла сформирован на изолирующей подложке. Медные контакты терморезистора в виде пленочных площадок расположены на адгезионном слое из хрома, нанесенном на подложку и защитный слой. 2 ил. Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в приборостроении в технологии изготовления...