Рыбаков О.Е.

 Использование: при изготовлении датчиков состава газа. Сущность изобретения: способ включает очистку поверхности керамической подложки, напыление контактных площадок, напыление металлической пленки, термическое окисление ее и присоединение к контактным площадкам выводов. Металлическую пленку формируют толщиной 0,01-0,03 мкм путем последовательного напыления олова и легирующей металлическо...