Витковский А.В.

 Использование: в приборостроении для изготовления магнитного носителя информации (магнитные ленты и диски) на нетермостойкой основе. Сущность изобретения: в установку для ионно-плазменного распыления, содержащую вакуумную камеру, соединенную с системой напуска рабочего газа, расположенные в ней планарный магнетронный распылитель и держатель подложки, на которую происходит напыление матери...