Чернечков В.А.

 Изобретение относится к технологии изготовления приборов с барьером Шоттки. Сущность изобретения: способ заключается в том, что при травлении кремния над углублением не создается козырек слоя окисла. При этом наносится только один барьерный слой металла по всей поверхности углубления, а травление кремния проводят плазмохимическим способом. При травлении выбираются следующие соотношения ск...