Харлин В.Ю.

 Изобретение относится к устройствам для нанесения многослойных покрытий в вакууме в непрерывном режиме. Сущность: в устройстве для нанесения многослойных покрытий дополнительная вакуумная камера снабжена системой для очистки подложек, а камера загрузки дополнительно системой предварительного нагрева, каждое вакуумно-перекрываемое шлюзовое окно выполнено в виде корпуса с соосными входным и...