Тимергалиев Р.Ш.

 Иcпользование: в плазменной технике, преимущественно в процессах вакуумной металлизации поверхности и синтеза неорганических пленок в пучково-плазменном разряде. Сущность изобретения: в рабочей камере размещают обрабатываемое изделие и мишень твердого неорганического вещества, камеру вакуумируют, напускают в нее рабочий газ и формируют в зоне обработки поверхности изделия паровой поток, п...

 Использование: в металлургической промышленности для вакуумной металлизации поверхностей и синтеза неорганических пленок в пучково-плазменном разряде, в частности в устройствах для плазмохимического нанесения покрытия. Сущность изобретения: устройство для плазмохимического нанесения покрытия снабжено вакуумными сопротивлениями, а вакуумная камера 1 выполнена с вакуумным отсеком 6, разделе...