Фахрутдинов Э.Г.

 Изобретение относится к напылительной технике и технологии, в частности к получению покрытий в вакууме, и может быть использовано при магнетронном высокоскоростном нанесении покрытий из металлов и сплавов на поверхность изделий различной геометрической формы. В установке реализовано использование магнетрона с двумя степенями подвижности. Магнетрон снабжен траверсой, на которой закреплены...

 Изобретение относится к вакуумным напылительным установкам. Сущность изобретения: установка содержит корпус 1, крышку 2, магнетроны 3, имеющие плоские катоды-мишени К-М 4, магнитную систему 5, механизм М ориентации подложки 6, включающий диск Д 10. М перемещения в виде винтовой пары 8 и привода 9, Д 10 расположен перпендикулярно оси М перемещения. Плоскости П двух К-М размещены под углом...