Бахаров Ю.В.

 Изобретение относится к микроэлектронной промышленности, стремительное развитие которой требует резкого увеличения производства полуфабрикатов из алюминия особой чистоты (АОЧ) в виде распыляемых мишеней. Изобретение позволяет значительно снизить расход дорогостоящего и дефицитного материала, т. к. заявляемый способ обеспечивает возможность использования мишеней, в которых лишь рабочая рас...