Шикин С.А.

 1. Сканирующий туннельный микроскоп, содержащий головку, включающую сканер с измерительным зондом, инерционный пьезодвижитель с установленным на нем держателем образца, систему управления пьезодвижителем и присоединенные своими цифровыми входами непосредственно к ЭВМ и первыми аналоговыми выходами через канал обработки данных к ЭВМ канал туннельного тока, соединенный с измерительным зондо...

 1. Сканирующий зондовый микроскоп, содержащий систему подачи и сканирования образца, измерительную головку, включающую платформу, установленные на ней полупроводниковый лазер и фотодатчик отклонения отраженного луча лазера, электронные схемы управления и регистрации, включающие канал сканирующего туннельного микроскопа, канал атомно-силового микроскопа и канал обратной связи, систему акус...