Неустроев С.А.

 Использование: микроэлектроника, локальное плазмохимическое травление твердых растворов PbSnFe. Сущность изобретения: локальное плазмохимическое травление твердых растворов теллурида свинца-теллурида олова проводят в смеси метана с аргоном при их соотношении 1 : (1 - 3), при общем давлении 1 - 10 Па, удельной мощности разряда 0,1 - 0,5 Вт/см2. Образец позволяет исключить подтравливание по...

 (57) Использование: реактор для обработки подложек в плазме СВЧ тлеющего разряда, обеспечивающий равномерное воздействие плазмы по обрабатываемой площади. Сущность изобретения: в конструкции реактора реализована схема четвертьволнового резонатора,нагруженного на емкость, которая образована рабочим столиком и противоэлектродом, закрепленным на конце центрального стержня. В объеме зарядного...

 Использование: микроэлектроника, планарная технология интегральных схем. Сущность изобретения: реактор для обработки подложек в плазме СВЧ тлеющего разряда представляет собой вакуумную камеру, в которой помещены полый резонатор, рабочий столик, узлы подвода энергии, подачи реагентов и откачки продуктов реакции. В резонаторе от места ввода энергии в него на расстоянии, кратном полуволне, р...