Блюм Григорий Захарович

 Изобретение относится к способам регенерации травильных растворов, в частности к способам обработки смесей на основе фтористоводородной кислоты и фторида аммония, например, применяемых для травления кремнийсодержащих поверхностей в полупроводниковой промышленности. Способ выделения фтористоводородной кислоты из отработанных промышленных отходов, содержащих фтористоводородную кислоту и фто...