Магер К.А.

  Использование: для сверхтонких плазмостойких резистных полимерных покрытий в молекулярной электронике. Сущность: сополимеры эфиров 2-цианакриловой кислоты с кремнийсодержащими метакрилатами общей формулы {[-CH2-C(CN)/COOR-]m-[-CH2-C(CH3)-(COOR1)-]n}k где R C2H5-C10H21 CH2-CH=CH2 CH2-CH2-OCH2-CH=CH2 CH2CF2-CF2H CH2COOCH2CF2CF2H CH2COOCH2=CH2 R1 CH2-Si(CH3)2-O-Si-(CH3)3 CH2-Si(CH3)3 CH2CH2...

 Использование: в качестве фоточувствительных резистных сверхтонких покрытий. Сущность изобретения: сополимеры эфиров 2-цианакриловой кислоты с хлорированными бутадиенами общей формулы: где при Х = Сl; Y = H, R = R1 = C3H7-C10H21, CH2CH2OCH2CH = CH2, CH2COOCH2CH = CH2, CH2COOCH2CF2CF2H, m = 99 - 21 мол.%, n = 1 - 79 мол. %, k = m + n, при Х=Н; Y=Cl, R=R1, C2H5, CH2CF2CF2H, CH2CF3 m = 1 -...