Агеев О.А.

  Использование: изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Сущность: для геттерирования структур интегральных схем (ИС) на заключительном этапе изготовления ИС перед изготовлением металлизации проводят нагрев с заданной скоростью нерабочей стороны подложки импульсным некогерентным излучением до о...

 Изобретение относится к медицине и может быть использовано для стерилизации медицинского инструмента. Задачей изобретения является сокращение длительности и повышение эффективности стерилизации медицинского инструмента. Устройство стерилизации медицинского инструмента содержит: рабочую камеру, керамическую теплоизоляцию, ИК-излучатели, УФ-излучатели, ванну, стерилизуемый инструмент, датчи...