Снитовский Юрий Павлович[BY]

 Использование: при изготовлении датчиков водородосодержащих газов. Сущность изобретения: при изготовлении чувствительного элемента датчика водородосодержащих газов на базе пористого кремния проводят ионную имплантацию палладия в пленку пористого кремния дозой ионов 100 - 300 мкКл/см2 с энергией 30 - 100 кэВ. Изобретение относится к электронной технике, в частности к технологии изготовлени...