Кондрашов Павел Евгеньевич

 Использование: в области нанесения тонких пленок в вакууме путем пучково-плазменного распыления. Сущность изобретения: в результате предложенной реконструкции механизма размещения катода-мишени обеспечивается ее равномерное распыление по всей поверхности. Катод-мишень установлен в направляющих с возможностью линейного перемещения от привода, а вдоль направляющих установлены электретно-маг...

 Использование: радиоэлектроника. Сущность изобретения: устройство для охлаждения подложек в вакууме содержит охлаждаемый подложкодержатель 1, установленный на водяной рубашке 2, механические прижимы 3 для фиксации подложки 4 на установочной площадке подложкодержателя 1 и теплопроводный материал 5, размещенный на установочной площадке, при этом в подложкодержателе выполнено сквозное отверс...

 Изобретение относится к нанесению тонких пленок путем ионного распыления материала в вакууме. В основу изобретения положена задача создать магнитную систему, у которой напряженность и индукция в межполюсной области изменяются во времени и пространстве. Эта задача решается тем, что магнитная система выполнена в виде основных электромагнитов с замкнутыми сердечниками в форме швеллера, устан...