Лазарюк С.Н.

 Использование: ионная техника. Устройство позволяет получать непосредственно на выходе плазменного источника не содержащие электронов импульсные пучки отрицательных атомарных ионов электроотрицательных газов. Сущность изобретения: источник отрицательных атомарных ионов содержит герметичную электроразрядную камеру с входным и выходным отверстиями, соединенные с источниками питания электрод...