Григорьев И.Ю.

 Использование: изобретение относится к области технологической обработки полупроводниковых пластин в вакууме, а более конкретно к способам охлаждения полупроводниковых пластин в вакууме. Сущность: в качестве теплопроводящего вещества используют легкоплавкий металл галлий, который в жидком виде располагают в поддоне, без дополнительного крепления, а между пластинами и поддоном располагают...

 Использование: для работы в вакууме. Сущность изобретения: пьезопривод содержит корпус, цилиндрический кожух, кольцо из теплопроводной резины, последовательно связанные между собой пьезоэлемент в виде набора пьезокерамических колец, вибрирующую накладку, упругие пластины, шайбу, упругий элемент и валик. Один торец кожуха закреплен на шайбе, упругие пластины расположены под углом к плоскос...