Салахов Н.З.

 Использование: в устройствах измерения перемещений, ускорений, потока, силы и давления. Сущность изобретения: интегральный балочный тензопреобразователь представляет собой прямоугольный модуль из кремния с концентратором механических напряжений в виде поперечного углубления заданных размеров, на рабочей поверхности которого сформирован тензорезистивный мост. Кроме того, для улучшения эксп...

  Использование: в устройствах измерения давления. Сущность изобретения: интегральный преобразователь давления представляет собой полупроводниковый кристалл с мембраной, на рабочей поверхности которого сформирован тензорезистивный мост. Каждый тензорезистор окружен высоколегированной охранной областью. На поверхности преобразователя имеется не менее одного омического контакта к кристаллу,...

  Использование: в устройствах измерения перемещений и силы. Сущность изобретения: интегральный балочный тензопреобразователь представляет собой прямоугольный модуль из кремния с двумя концентраторами механических напряжений в виде поперечных углублений заданных размеров, на рабочей поверхности которых сформирован тензорезистивный мост. Кроме того, для улучшения характеристик прибора в кра...

 Использование: в измерительной технике. Сущность: способ включает формирование на обеих поверхностях кремниевой пластины первого типа проводимости диэлектрического слоя, нанесение на рабочую сторону пластины слоя тугоплавкого металла, вскрытие окон в периферийной части пластины, анизотропное травление на глубину, равную толщине у других элементов, фотолитографию и вскрытие окон для формир...