Зверева Г.В.

 Использование: изобретение относится к электронной технике, в частности к технологии изготовления интегральных приборов СВЧ. Сущность изобретения: перед формированием верхнего уровня металлизации формируют полоски из фоторезиста по линиям пересечения верхнего уровня металлизации с нижним, причем после задубливания фоторезиста проводят его ступенчатый прогрев при температурах 200 - 210oC и...