Петрухин Е.А.

 Использование: применяется в системе очистки газовой смеси эксимерного лазера. Сущность: способ очистки газовой смеси эксимерного KrF - лазера, основанной на использовании криогенного фильтра и блока очистки инертных газов от примесей. Причем газовая смесь лазера очищается в два этапа: вначале при помощи криофильтра, охлажденного до температуры 76К, из газовой смеси вымораживаются примесн...

 Использование : в лазерной технике, а именно импульсные электроразрядные лазеры. Сущность изобретения: камера электроразрядного газового лазера включает газовую смесь, электроды основного и вспомогательного разрядов и диэлектрический изолятор, изготовленный из полимерного материала. С целью увеличения времени жизни газовой смеси у поверхности изолятора размещены экраны из неорганического...