Ивашин А.М.

  Использование: в микроэлектронике, волоконной оптике. Соединение мышьяка с металлами в виде гранул засыпают в реакционную колонку, через которую пропускают газ - носитель (например, водород), предварительно насыщенный водяным паром в термостате с сосудом увлажнителем, причем газ - носитель насыщают водяным паром до концентрации, отвечающей равновесному состоянию, а концентрация гидрида м...

 Использование: производство высокочистого поликристаллического кремния, полупроводниковых структур методами газовой эпитаксии. Сущность изобретения: способ заключается во взаимодействии гидрида кальция с газообразным тетрафторидом кремния в солевом расплаве хлоридов лития и калия. Тетрафторид кремния используют в концентрации 50 - 100 об.%. Тетрафторид кремния разбавляют очищенным от кисл...