Двинин Сергей Александрович

 Изобретение относится к оборудованию для плазменной технологии, а также к способам создания однородной плазмы с большой площадью рабочей поверхности. Способ создания плазмы однородной в рабочей зоне большой площади заключается в помещении внутрь вакуумной камеры волноведущей структуры (антенны), вдоль которой возбуждается поверхностная волна. Устройство генерации плазмы содержит узел гене...