Рыжиков И.А.

 Использование: в вакуумной технике, а именно относится к способам и устройствам для откачки газов. Сущность изобретения: технический эффект повышения скорости откачки и компрессии достигается за счет увеличения эффективности преобразования энергии бегущей волны и поступательного движения газа. Для этого в способе откачки газа возбуждают в стенке ротора (мембране) бегущую волну пьезоэлектр...